真空泵油是一种专门为真空设备上的真空泵而研制的 特种润滑油。
真空泵油适用于往复式增压泵、机械增压泵和油封机械真空泵等使用，亦可用于各种扩散真空泵等。
从结构来分，真空泵油分矿物型和合成油两种。
矿物型真空泵油主要通过石油裂解精制而得到。
合成类油是通过化学合成方法制备成较高分子的化合物，再经过调配或进一步加工而成的润滑油。合成分为6 类：有机酯、合成烃、聚醚、聚硅氧烷（硅油）、含氟油、磷酸酯。
性能要求
1.较低的蒸汽压
这是真空泵油最重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸汽压很低的硅油或其他合成油，但用于扩散泵的硅油具有下面的缺点：连续反复使用后，容易产生交联，影响油的品质，进而影响其使用性能。
2.合适的粘度和良好的粘温特性
真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
3.良好的热氧化稳定性
真空泵不断向高端发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩撒泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸汽压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化稳定性。
4.良好的抗腐蚀性和抗乳化性
真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水气冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。
5.较高的闪点
主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸汽压6.较低的极限压力
极限压力是真空泵油重要的使用性能指标，以了解在最低真空极限压力下真空泵的极限压力。
合成型真空泵油与矿物型油相比具有以下性能：
1、具有较好的高温性能；合成润滑油比矿物油的热安定性要好，热分解温度、闪点和自燃点高，热氧化安定性好，允许在较高的温度下使用。
2、具有优良的粘温性能和低温性能。
3、大多数合成润滑油比矿物油粘度指数高，粘度随温度变化小。在高温粘度相同时，大多数合成油比矿物油的倾点（或凝点）低，低温粘度小。
4、具有较低的挥发性。合成油一般是一种纯化合物，其沸点范围较窄，挥发性较低，因此可延长油品的使用寿命。
5、优良的化学稳定性。在国防和化学工业中具有重要的使用价值。
6、具有抗燃性。
7、与橡胶密封件的适应性。
